机械研磨机的载具膜的预防保养方法，包括下列步骤： (a)一化学机械研磨机上，其具有一研磨主轴、可拆装地设置于该研磨主轴上的一研磨具，其中该研磨载具具有数个抽气孔、一可拆装的导环以及一载具膜，用激光预先加工所述的载具膜上与该抽气孔对应的数个孔洞； (b)当该化学机械研磨机需预防保养时，将该研磨载具从该研磨主轴上拆下； (c)将该导环从该研磨载具拆下且去除原有的载具膜后，对该研磨载具进行清洁处理； (d)将新的载具膜与对孔板对准，其中该对孔板上具有与该抽气孔对应的数个销孔，且在每一销孔上设有一固定销，当该载具膜与该对孔板对准时，每一固定销穿过该孔洞；     (e)将该载具膜与该对孔板一起放置在该研磨载具上，使每一固定销依序穿过对应的孔洞、抽气孔； (f)将该载具膜粘贴在该研磨载具上，且移去该对孔板；以及 (g)将该导环安装至该研磨载具后，将该研磨载具安装至该研磨主轴上

双面研磨机安全、维护、保养